Product Center
产品中心
中、英、德专利产品（洁净室专用）
产品介绍
产品应用：
适合半导体前端单晶硅制作过程中硅片及晶圆盒的存放,防止硅片的返颗粒，返雾现象；
由于普通的干燥存储柜或者氮气柜设计都为全封闭环境，且无自净功能，故内部容易积
聚大量灰尘，而这些灰尘极可能粘附在存储品上。亿捷科技洁净柜则适合存放需要避免灰尘
污染的物品.
产品介绍：
4英寸超高亮数码管显示，可视距离30米，可加装氮气节约控制系统，可加装报警系统。
无尘风机——采用进口无尘室专用FFU风机，镀铝锌板
材质，铝合金叶轮，风速0.3-0.45m/s，噪音<=55dB，
双面护网高效过滤器——过滤效率高99.99%@0.3um。
模组化设计——本机器采用独特的模组化设计，温湿度显
示器、控制系统、除尘系统均能快速更换，保养及维修
简便，大大提升维护效率。可选配防静电系统。
适合半导体前端单晶硅制作过程中硅片及晶圆盒的存放,防止硅片的返颗粒，返雾现象；
由于普通的干燥存储柜或者氮气柜设计都为全封闭环境，且无自净功能，故内部容易积
聚大量灰尘，而这些灰尘极可能粘附在存储品上。亿捷科技洁净柜则适合存放需要避免灰尘
污染的物品.
产品介绍：
4英寸超高亮数码管显示，可视距离30米，可加装氮气节约控制系统，可加装报警系统。
无尘风机——采用进口无尘室专用FFU风机，镀铝锌板
材质，铝合金叶轮，风速0.3-0.45m/s，噪音<=55dB，
双面护网高效过滤器——过滤效率高99.99%@0.3um。
模组化设计——本机器采用独特的模组化设计，温湿度显
示器、控制系统、除尘系统均能快速更换，保养及维修
简便，大大提升维护效率。可选配防静电系统。
技术参数
技术参数：
材质：双镜面304不锈钢
外尺寸： 1300W*800Dmm*1836H
内尺寸： 1253W*650Dmm*1110H
除湿等级：相对湿度可达到5%Rh以下（配合充氮气）
洁净等级： ISO Class 2（百级） ISO Class 3（千级）
湿度显示范围： 0.1%RH-99.9%RH
湿度显示范围： -40℃-70.0℃（-9.9℃以下显示不带小数点）
温湿度显示器精度： 相对湿度±3%Rh，温度±1℃
材质：双镜面304不锈钢
外尺寸： 1300W*800Dmm*1836H
内尺寸： 1253W*650Dmm*1110H
除湿等级：相对湿度可达到5%Rh以下（配合充氮气）
洁净等级： ISO Class 2（百级） ISO Class 3（千级）
湿度显示范围： 0.1%RH-99.9%RH
湿度显示范围： -40℃-70.0℃（-9.9℃以下显示不带小数点）
温湿度显示器精度： 相对湿度±3%Rh，温度±1℃
